什么是半導體傳感器？

半導體傳感器一般是指根據(jù)半導體材料的各種物理、化學和生物學特性而研發(fā)的傳感器。半導體傳感器所采用的半導體材料多數(shù)是硅以及Ⅲ-Ⅴ族和Ⅱ-Ⅵ族元素化合物。而且半導體傳感器種類繁多，利用近百種物理效應和材料的特性，使其具有類似于人眼、耳、鼻、舌、皮膚等多種感覺功能，半導體氣體傳感器也是半導體傳感器中的一種。

什么是半導體氣體傳感器？

半導體氣體傳感器是利用固態(tài)金屬氧化物半導體氣敏材料制作氣敏元件的氣體傳感器，是最常見的氣體傳感器，廣泛應用于家庭和工廠的可燃氣體泄露檢測裝置，適用于甲烷、液化氣、氫氣等的檢測。

半導體氣體傳感器原理：

在一定的溫度條件下，被測氣體到達半導體敏感材料表面時將與其表面吸附的氧發(fā)生化學反應,并導致半導體敏感材料電阻發(fā)生變化，其電阻變化率與被測氣體濃度呈指數(shù)關(guān)系，通過測量電阻的變化即可測得氣體濃度。

單支半導體氣體傳感器通過選擇性催化、物理或化學分離等方式在已知環(huán)境中可以實現(xiàn)對氣體的有限識別。大規(guī)模半導體氣體傳感器陣列可以實現(xiàn)對未知環(huán)境中氣體種類的精確識別。

半導體氣體傳感器分類

半導體顧名思義是電導率介于絕緣體與導體之間的物質(zhì)。

半導體氣體傳感器的敏感材料就這么一種物質(zhì)。

按照傳感器所使用的敏感材料的差異可分為：SnO2、ZnO、WO3、Fe2O3等型；

按傳感器內(nèi)部結(jié)構(gòu)的差異可分為：管狀旁熱式、平面旁熱式、直熱式、常溫式以及MEMS式五類。

當加熱器與半導體材料為隔離狀態(tài)時，這一類結(jié)構(gòu)的傳感器就是旁熱式氣體傳感器，旁熱式又可分為管狀旁熱式和平面旁熱式兩種。

當加熱器與半導體材料直接接觸時，這一類結(jié)構(gòu)的傳感器即為直熱式氣體傳感器。

不需要附加加熱器的傳感器就是自加熱式傳感器。

常見的氣體敏感材料分為表面控制型和體控制型。表面控制即電阻由晶粒表面和晶粒晶界控制，體控制即電阻由晶粒尺寸和載流子濃度控制。

半導體傳感器特點：

半導體傳感器優(yōu)點：性價比高、設計及制造過程簡單。

半導體傳感器弱點: 功耗大、漂移、線性差。

總之半導體傳感器的優(yōu)缺點首先是由其工作原理決定的，是先天的。后天的設計、制造可以改善，但不能消除。